三星電子(005930.KS)供半導體製造使用的蝕刻製程配方,據報多次未經授權傳至設備供應商科林研發(Lam Research,LRCX)韓國法人。報導指出,三星內部調查發現了這些資料傳輸情況。
韓國半導體專業媒體《THE ELEC》報導,三星內部調查發現,多次發生超出授權範圍的資料傳輸。報導並稱,三星將此事視為嚴重的技術外洩事件。
科林研發向三星半導體產線供應蝕刻與沉積設備。《THE ELEC》指出,設備運轉產生的資料會儲存在工廠內部監控伺服器等系統。依雙方協議,科林研發可在有限範圍內取得部分設備資料,用於改善效能及維護;韓國法人需就此向三星提出資料申請。
《THE ELEC》報導稱,三星調查發現,部分未獲准對外提供的製程配方,以獨立檔案形式傳至科林研發韓國法人。報導指出,這些傳輸源於不符合規定的申請,且並非單一事件。
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